0.1μmのフィルタとヒータを一体化した高温フィルタ。

半導体製造工程の液化ガスでの使用を前提とした設計で、接ガス部材は全てSUS316L。リンテック独自の低圧損構造。

特徴

  • 0.1µmのろ過精度
  • Max200℃
  • オールメタルのクリーン構造
VF-0201N

使用例

気化システム後方に設置することで製品欠陥に繋がるバーティクルやミストを除去する加熱フィルタです。

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