50SLMのN2を200℃に加熱可能な小型熱交換器。

特徴

HX-0050A
  • 面間158㎜×幅80㎜×高さ80㎜のコンパクト設計
  • 最大流量50SLM
  • 最高使用温度200℃
  • 接ガス部材(SUS-316L)を腐食しないガスの加熱が可能
  • 真空、加圧でも使用が可能

使用例

除害装置導入前の希釈N2加熱

エッチング装置での排気ライン閉塞防止

半導体製造装置やFPD製造装置の排気ラインは反応ガスが除外装置に送られるまでの間に配管に付着し閉塞する事が問題になります。その為、ホットN2で希釈するのが一般的ですが、配管外側からテープヒータで加熱するだけでは十分な効果を得る事ができません。小型熱交換器(HX-0050A)は流体を十分に加熱するため、閉塞を最小限におさえる事ができます。

仕様表

 流量(N2換算)圧力損失(N2)耐圧(G)使用温度接ガス部材質
仕様50SLM9.8kPa1MPa200℃SUS316L

※小型ガス加熱器、小型熱交換器の詳細仕様は直接お問合せ下さい。

お気軽にお問い合わせください。077-536-2210受付時間 9:00-17:30 [ 土・日・祝日除く ]

お問い合わせ