コンパクトな設計で、N2換算250SLMをMax300℃加熱が可能な高温ガス加熱器。

特徴

  • 高さ240㎜×横101㎜×幅75㎜のコンパクト設計
  • 最大流量250SLM
  • 最高使用温度300℃
  • 2台並列で300℃、500SLMが可能
  • 設定温度と出口ガス温度の差が少ない設計
高温ガス加熱器
【HX-0301L】

使用例

ウェハの反り返り矯正

ウェハは成膜を重ねる事で反り返りが発生する事があります。その対策の一つとして高温大流量の熱風で反り返りを矯正する方法があります。2台並列する事で300℃、500SLMの高温大流量を発生可能な高温ガス加熱器(HX-0301)は反り返りの矯正に最適です。

仕様表

 流量(N2換算)圧力損失(N2)耐圧(G)使用温度接ガス部材質
仕様250SLM94kPa1MPa300℃SUS316L

※小型ガス加熱器、小型熱交換器の詳細仕様は直接お問合せ下さい。

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