最高加熱200℃でコンパクトな小型ガス加熱。

特長

  • 面間160㎜×幅55㎜のコンパクト設計
  • N2ガス10SLMを200℃に加熱
  • 接ガス部材(SUS-316L)を腐食しないガスの加熱が可能
  • 真空、加圧でも使用が可能
小型ガス加熱器HX-0020画像
HX-0020

使用例

ALD、CVD装置のホットパージ

ALD、CVD等の真空成膜では液化ガスが多く使われますが、常温ガスでパージすると温度が冷えて凝縮し、逆にパージが不十分になる事があります。そこで、ホットパージが有効です。小型ガス加熱器(HX-0020)はMFCとさほど変わらないフットプリントで、200℃までの加温が可能な為、ユースポイント直近でのガス加熱が可能な為、ALDやCVDなどの真空成膜装置のホットパージに最適です。

仕様表

流量(N2換算)圧力損失(N2)耐圧(G)使用温度接ガス部材質
仕様10SLM14kPa1MPa200℃SUS-316L

※小型ガス加熱器、小型熱交換器の詳細仕様は直接お問合せ下さい。

お気軽にお問い合わせください。077-536-2210受付時間 9:00-17:30 [ 土・日・祝日除く ]

お問い合わせ