流体を瞬時に加熱する高効率の小型加熱制御器HXシリーズ

小型ガス加熱換器の特徴

様々な流体加熱

SUS-316L製の加熱ブロックにより、ヒータと流体が直接接触しない為、SUS-316Lを腐食しない流体の瞬時加熱が可能。

確実なガス加熱

配管内を流れる気体流体は、温めにくく、冷めやすい特性を持っています。

一般的に、配管内の流体加熱は配管の外側からテープヒータで加熱しるが、外側からの加熱では中心まで熱が伝わりにくくなります。 流体内部まで瞬時にガス加熱可能な熱交換器(HX)であれば確実な流体加熱が可能です。

マスフローコントローラ後段のガス加熱

半導体製造工程では、ガスを加熱するだけでなく流量制御されたガスを加熱する必要があります。その為、ガス加熱器の一次側にマスフローコントローラで流量制御する為、カス加熱器(二次側)の低圧損が必要となります。マスフローコントローラメーカ(リンテック)のガス加熱器(HX)は低圧損構造です。

ガス加熱器製品一覧

小型ガス加熱器【HX-0020

  • 最大流量:10SLM
  • Max:200℃

高温熱交換器【HX-0051H】

  • 最大流量:20SLM
  • Max:300℃

小型熱交換器【HX-0050A】

  • 最大流量:50SLM
  • Max:200℃

高温熱交換器【HX-100C】

  • 最大流量:100SLM
  • Max:300℃

高温ガス加熱器【HX-301L】

  • 最大流量:250SLM
  • Max:300℃

大流量熱交換器【HX-300C】

  • 最大流量:300SLM
  • Max:250℃

加熱フィルタ【VF-0201N】

  • Max:200℃
  • フィルタ0.1μm

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