液体用マスフローセンサにピエゾアクチュエータを内蔵した高性能のデジタル液体マスフローコントローラ。

熱式の液体用流量センサと高精度のピエゾアクチュエータバルブを一体化した液体用マスフローコントローラ。

液体質量流量センサで現在の質量流量を測定、ピエゾバルブの開度をフィードバック制御する事で、高速で液体質量流量の自動制御が可能。

    LC-3000L

特長

使用例

脈動のない微小流量の連続制御

定量ポンプは一定量の液体を流せる便利な製品ですが、可動部がある為脈動が発生します。リンテックの液体マスフローコントローラは適切な圧力で一定の圧力で加圧されていれば、脈動のない安定した流量制御が可能です。

真空装置への液体制御

二次側が真空条件では、容積式では液体が抜けてしまい流量制御が難しくなります。 コントロールバルブと質量流量センサが一体化した液体マスフローコントローラ(LC-3000シリーズ)は、適切な差圧条件であれば二次圧に関わらず流量制御が可能です。

仕様表

モデル温度必要差圧精度最小F.S.最大F.S.
LC-3102L15~35℃50~300kPa±1.0%F.S.0.1g/min1.0g/min
LC-3702L15~35℃50~300kPa±2.0%F.S.~30g/min

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです。
※F.S.は液種によって異なる為、一度ご連絡ください。

カタログダウンロード

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