液体用マスフローセンサにピエゾアクチュエータを内蔵した高性能のデジタル液体マスフローコントローラ。
熱式の液体用流量センサと高精度のピエゾアクチュエータバルブを一体化した液体用マスフローコントローラ。
液体質量流量センサで現在の質量流量を測定、ピエゾバルブの開度をフィードバック制御する事で、高速で液体質量流量の自動制御が可能。
特長
使用例
脈動のない微小流量の連続制御
定量ポンプは一定量の液体を流せる便利な製品ですが、可動部がある為脈動が発生します。リンテックの液体マスフローコントローラは適切な圧力で一定の圧力で加圧されていれば、脈動のない安定した流量制御が可能です。
真空装置への液体制御
二次側が真空条件では、容積式では液体が抜けてしまい流量制御が難しくなります。 コントロールバルブと質量流量センサが一体化した液体マスフローコントローラ（LC-3000シリーズ）は、適切な差圧条件であれば二次圧に関わらず流量制御が可能です。
仕様表
| モデル | 温度 | 必要差圧 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. |
| LC-3102L | 15~35℃ | 50~300kPa | ±1.0%F.S. | 0.1g/min | 1.0g/min |
| LC-3702L | 15~35℃ | 50~300kPa | ±2.0%F.S. | ~30g/min |
※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです。
※F.S.は液種によって異なる為、一度ご連絡ください。
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