DeviceNetマスフローコントローラ

DeviceNet通信対応マスフローコントローラ。

最新の半導体製造装置搭載の制御機器は、アナログ制御ではなく、高速制御や配線の簡素化を目的にオープンフィールドワークでの通信が増えています。

リンテックでは、業界に先駆けて
SEMI規格準拠のDeviceNet™ 通信用マスフローコントローラMC-5000Lを開発。半導体製造で求められるメタルシールと、独自の周囲温度補償式流量センサを搭載。液化ガス対応など様々なオプションにも対応可能。

特長

半導体装置ではフィールド・ネットワークの制御が増えています。DeviceNet通信専用MFC（MC-5000L）ではAD/DAコンバータ、IOボードが不要で、ローコスト化、省配線が可能です。

_温度	_最小差圧	_最大差圧	_精度	_制御範囲	_最小F.S.	_最大F.S.	_シール
_5~50℃	_50kPa	_300kPa	_±1%S.P.	_2~100%F.S.	_5SCCM	_200SLM	_Au

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです。　はオプションにより変更可能です。

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