低価格マスフローコントローラ

短納期と低価格を実現した、ラバーシールモデルのマスフローコントローラ。

Ar、N2などの不活性ガスの流量制御やAirなどの流量制御に最適な低価格マスフローコントローラ。仕様を限定することで短納期対応を実現。

追加オプションのバリアブルレンジ機能で流量レンジ変更も可能。RS-485のデジタル通信も追加可能。

使用例

PVD

スパッタリング等のPVD成膜装置では、一般的に不活性ガスと呼ばれる化学反応が起きにくく安定した気体であるArが使用されます。そのようなAr等の不活性ガスをMFCでの流量制御を必要とする場合、コストを抑えられる低価格マスフローコントローラ（MC-10RC）がおすすめです。

不活性ガス分析・実験装置

シール材の樹脂を腐食しないガス流量制御には、低価格なMFCのMC-10RCがおすすめです。さらに、オプションのVR機能により、インラインでのガス種と流量レンジの変更にも対応可能です。簡易な実験や分析装置に最適な製品です。

仕様表

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです。　はオプションにより変更可能です。

カタログダウンロード

取扱説明書のダウンロードは会員ページから