LC-3000L Series

LC-3000Lは、液体用マスフローセンサにピエゾアクチュエータを内蔵した高性能のデジタル液体マスフローコントローラです。

• ピエゾアクチュエータを内蔵することで液体マスフローコントローラとして一体化。
• デジタルインターフェイスは、RS-485を標準搭載。
• 流量範囲（C₂H₅OH換算）：0.1~1.0 g/min
• 流量範囲（H₂O換算）：0.1~0.2 g/min
• 詳細仕様：カタログのダウンロードはこちら