バリアブル(VR)機能マスフローコントローラ

 

 

MC-700-1000x1000

MC-700 Series

MC-700シリーズは、本体上部に設置した 3桁のロータリスイッチによりガス種、流量を変更できる機能を搭載したマスフローコントローラです。

  • (基準流量)÷(使用するF.S.流量)x(コンバージョンファクタ)で求めた値を3桁のロータリスイッチに入力することで、ガス種、F.S.流量を変更できるVR機能を搭載。
  • VR機能により、1台で複数の仕様に対応することで、予備品の削減が可能。
  • 汎用デジタルインターフェイスRS-485を装備し、デイジーチェーン接続で最大32台のMFCの接続が可能
  • 流量範囲(N2換算):10~50,000 SCCM
  • 詳細仕様:カタログのダウンロードは
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