EtherCAT マスフローコントローラ

Responsive WordPress Image Slideshow Plugin

MC-5000C Series

MC-5000Cシリーズは、SEMIに準拠したEtherCAT専用のマスフロコントローラです。

  • デジタルインターフェイスは、SEMI E54.20-1180に準拠したEtherCATを採用。
  • リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載。
  • マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現。
  • 流量範囲(N2換算):10~300,000 SCCM
  • 詳細仕様:カタログのダウンロードこちら