高性能デジタル通信マスフローコントローラ

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MC-3000L Series

MC-3000Lシリーズは、+/-1%SP保証を実現した高性能のデジタルマスフロコントローラです。

  • +/-1%SP保証を実現。
  • 半導体業界等多数実績のある高精度タイプ。
  • デジタルインターフェイスは、RS-485を標準搭載。
  • マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現。
  • 流量範囲(N2換算):5~400,000 SCCM
  • 詳細仕様:カタログのダウンロードはこちら