低価格マスフローコントローラ

MC-10-1000x1000

MC-10 Series

MC-10シリーズは、短納期対応によりCOOに貢献するために開発された低価格のマスフローコントローラです。

  • ラバーシールを採用することで低価格を実現。
  • オプションでバリアブルレンジ(VR)機能を選択することで、(基準流量)÷(使用するF.S.流量)x(コンバージョンファクタ)で求めた値を3桁のロータリスイッチに入力して、ガス種、F.S.流量を変更可能。
  • バリアブルレンジ(VR)機能により、1台で複数の仕様に対応することで、予備品の削減が可能。
  • 流量範囲(N2換算):10~50,000 SCCM
  • 詳細仕様:カタログのダウンロードはこちら