LINTEC

マスフローコントローラ・

液体気化供給システム　

リンテックは独自技術で世界のオンリーワン企業を目指します。
そしてその技術を通じ社会への貢献を果たしたいと考えています。

マスフローコントローラは、半導体製造及び液晶パネル製造工程で使用される、各種気体及び液体の質量流量を高精度で制御する機器であり、ＩＣ、液晶製造においてはなくてはならないキーデバイスとなっています。 液体、気体の流量を体積ではなく質量（重さ）で制御するため、温度、 圧力に依存することがなく、極めて高精度で流体を制御することができます。 液体気化供給器は、マスフローコントローラで制御された液体を、効率よく気化させる機器であり、気化供給器もまた、次世代半導体材料供給技術のキーデバイスです。 これらの機器は、 半導体、液晶パネル製造用途のみならず、燃焼ガスの制御、燃料電池用、各種分析機器、ガスモニター等、流体の制御、流量管理が必要な用途に幅広く使用されています。