マスフローコントローラ｜気化器｜流量制御のパイオニア

半導体業界向けガスマスフローコントローラの製造開発で1987年に創業したリンテック。

TEOS用の流量制御として世界に先駆けて液体マスフローコントローラを開発、

液相で高精度に流量制御したTEOSを気化供給するシステムを開発した液体気化供給のパイオニアです。

また、気化技術を応用して高効率・省スペースでガス加熱が可能な熱交換器や、

これら製品をお客様のニーズに合わせたユニット提案を致します。