気体/液体供給装置

流量・流体制御機器メーカとして、ガスパネルから流体供給キャビネットまでカスタム対応致します。

液体気化供給装置

MFMと気化器を使用して液体を気化し、供給する直接気化方式を1つのユニットにまとめた装置です。

タンクを加熱して気化させたガスを高温用MFCで供給するベーキング方式を1つのユニットにまとめた装置です。

MFCを使用してキャリアガスを制御し、タンク内部の液体を気化させて供給するバブリング方式を1つのユニットにまとめた装置です。

MFCを使用し、複数のガスを任意の濃度、流量で混合ガスを精製、供給する装置です。

内蔵タンクから液体を任意の数に自動で供給する装置です。

・各種ユーテリティに接続するだけで手軽にご要望の気体/液体の供給が可能でお客様の作業負担を低減できます。

・ガス/液種や流量、使用環境等その他ご要望に応じた仕様へのカスタムが可能でご指定の安定的な供給が行えます。