流量とは
流量はその単位時間あたりに移動する流体の量。移動量÷時間＝流量で表され、マスフローコントローラーの単位時間は1分間（/min）で表現されます。移動量の単位は質量と体積があり、マスフローコントローラーは質量流量です。
質量流量
温度、圧力の影響を受けない質量流量を測定する計測機器です。
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質量流量＝密度×体積流量
流量計
- 熱式流量計
- コリオリ式流量計
| 測定原理 | 長所 | 短所 | |
| 熱式 | 流体の比熱 | ・低価格 ・密度を選ばない | ・コンバージョンファクタが必要 |
| コリオリ式 | 慣性力 コリオリの力 | ・コンバージョンファクタ不要 | ・高価格 ・低圧のガスには不向き |
体積流量
流体の体積を測定する方法で、様々な方式があり流速と面積から求められる。
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体積流量＝断面積×平均流速
流量計
- 差圧式流量計
- 電磁式流量計
- 面積式流量計
- 超音波式流量計