流量とは

流量はその単位時間あたりに移動する流体の量。移動量÷時間=流量で表され、マスフローコントローラーの単位時間は1分間(/min)で表現されます。移動量の単位は質量と体積があり、マスフローコントローラーは質量流量です。

質量流量

温度、圧力の影響を受けない質量流量を測定する計測機器です。

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質量流量=密度×体積流量

流量計

  • 熱式流量計
  • コリオリ式流量計

体積流量

流体の体積を測定する方法で、様々な方式があり流速と面積から求められる。

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体積流量=断面積×平均流速

流量計

  • 差圧式流量計
  • 電磁式流量計
  • 面積式流量計
  • 超音波式流量計