マスフローコントローラー
マスフローコントローラーは質量流量制御器でMass Flow Controller（MFC）と表記されます。
マス
Mass
質量：慣性の大きさを示す量。重力を生じさせる原因となる量。
フロー
Flow
流体：気体と液体の総称。外力に対して容易に形を変える。
コントローラー
Controller
制御器：目的の状態になるよう適当な操作を行う装置。
マスフローコントローラーの動作
マスフローコントローラーは温度、圧力の変化に影響されず質量流量を測定し質量流量を自動制御する機器です。流量センサのブリッジ回路で、質量流量によるセンサ温度差を電圧差に変換、演算回路で流量出力値に処理されます。そして、外部信号で入力された流量設定信号（0～5V）を受け取り、比較制御回路で流量出力値と比較、PID制御（比例、積分、微分）でコントロールバルブアクチュエータをフィードバック制御します。この動作を連続的に自動で行います。
また、演算回路で処理された質量流量出力値は外部出力信号（0～5V）で出力されます。
マスフローメーター
マスフローメーターは質量流量測定器でMass Flow Meter（MFM）と表記されます。
マス
Mass
慣性の大きさを示す量。重力を生じさせる原因となる量。
フロー
Flow
気体と液体の総称。外力に対して容易に形を変える。
メーター
Meter
何らかの数値やデータを計測する装置。
マスフローメーターの動作
マスフローメーターは温度、圧力の変化に影響されず質量流量を測定する機器です。流量センサのブリッジ回路で、質量流量によるセンサ温度差を電圧差に変換、演算回路で流量出力値に処理されます。処理した流量出力値を0～5Vのアナログ出力やデジタル通信で外部出力します。
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