流量測定時(通電時)Max120℃、非通電時Max150℃の高温マスフローメータ。

高温になる接ガス部分と電子基板を分離する事で高温での使用を実現。

MM-3000L-TN

仕様表

温度使用圧力精度最小F.S.最大F.S.シール
low80~120℃400kPa(D)±1%F.S.10SCCM25SLMAu
high100~120℃400kPa(D) ±1%F.S.10SCCM25SLMAu

※仕様表は一般仕様のマスフローメータです。特注仕様はリンテックへご相談ください。

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