流量レンジを変更できるバリアブルレンジ機能とデジタル通信(RS-485)、メタルシールを標準搭載した汎用性の高いマスフローコントローラ。

バリアブルレンジ機能により、1台で複数のマスフローコントローラに仕様変更できる為、予備品の削減は勿論、インラインでのF.S.変更が可能。流量レンジの変更やガス種の変更を頻繁に行う実験装置に最適。

MC-700
MC-700

使用例

実験装置や試作機

実験装置や試作機では、様々なガスの制御や流量レンジの変更を行うことが多くあり、複数のマスフローコントローラが必要となってきます。MC-700シリーズでは、ガス種・流量が変更できるVR機能を標準搭載したマスフローコントローラの為、1台で複数の仕様に対応でき、コストも抑えられるので最適です。また、シール材がSUS-316Lのメタルシールであり、腐食性の高いガスの使用にも対応できます。

MFC予備品を共通化

使用内容に応じて複数の異なるガス種、流量レンジのマスフローコントローラを予備品として確保しておく必要がありますが、VR機能を搭載したMC-700は、1台で腐食性ガスを含めた複数のガス種と流量レンジに対応でき、様々な場面でご使用できます。また、マスフローコントローラを共通化することによって、予備品の削減に貢献できます。

仕様表

温度最小差圧最大差圧精度制御範囲最小F.S.最大
F.S.
シール
15~35℃50kPa300kPa±1%F.S.2~100%F.S.10SCCM50SLMAu

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです。 はオプションにより変更可能です。

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