リンテックのガスマスフローコントローラ(以下MFC)又はマスフローメータでトラブルが起こった場合、修理依頼を出される前に一度下記内容に従い、チェックしてみてください。また、修理依頼を出される際には、製品返送時のお願いを確認の上、返送をお願いします。

トラブルと対策

ガスが流れっぱなし(流量出力振りきれ)
ガスが全く流れない(流量出力が0のまま)
ゼロ点がずれている(オフセットする)
低域流量の制御が出来ない
高域流量の制御が出来ない
MFCの出力がハンチングする(流量が安定しない)
設定値と出力値に差がある
設定値より多く流れる(吐出量が多い)
設定値より少なく流れる(吐出量が少ない)
応答性が遅い
設定2%以下での制御がおかしい

ゼロ点調整方法

精度よくゼロ点調整を行うために、下図のようにシャットオフバルブを閉止する等、MFC前後の差圧(流れ)がない状態にしてください。可能であればMFCもバルブクローズ信号を入力(閉止状態)にしてください。

         ゼロ点調整時の図

下記写真の赤枠内のようにMFC上部にゼロ点調整用の押しボタンスイッチがありますので、先端の細いもので押してください。その時の流量をゼロ点としてリセットされます。

※通信設定が初期値にリセットされますので、5秒以上の長押しはしないでください。

製品返送時のお願い

修理依頼などで弊社製品を返送する際は、下記の点に注意して返送してください

  • 十分にパージ、真空引きを行い、完全にMFC内から流体を除去してください。
  • 必ず継手にキャップを付け、ゴミや外気が入らないようにしてください。
  • 反応性の高い流体を使用した場合、窒素置換をお願いします。
  • 注文時の仕様ガスと実際に使用したガスが異なる場合、必ず使用したガスを明記してください。
  • 不具合内容をできるだけ詳細に記載をお願いします。
  • MFCの破損を避けるため、梱包の際は緩衝材等を使用してMFCに強い衝撃が加わらないようにしてください。

以下の場合、修理・点検はお受けできません

  • 放射性ガスを使用した場合
  • 返送されたMFC内部に液体などの不明物質が残留している場合、残留している物質が何であるかを明記してください人体への安全のため、明確になるまで修理点検はできません。
    また、危険性の高い物質の場合はお断りする場合があります。

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