ピエゾアクチュエータ搭載の小型ノンキャリア気化気化器。

微小流量の制御と高速応答が可能なピエゾアクチュエータコントロールバルブが気化室直近で液体流量を制御。

流量制御された液体がメッシュフィルタに拡散され、気化室で加熱される事で微小流量でも安定的な気化を実現。

小型ノンキャリア気化
VU-3100

特長

使用例

TEOSのノンキャリ気化

高温MFCをベースとしたノンキャリア気化は、気化量が少ないという欠点がありました。リンテック独自のノンキャリ構造であるVU-3100は、小型でありながらTEOS:5g/min(538SCCM)のノンキャリア気化供給が可能です。

仕様表

最高温度必要差圧最大TEOS気化流量シール
150℃50~300kPa5g/minAu

※詳細仕様はお問合せ下さい。

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