ピエゾバルブを搭載した微小流量小型液体気化器。

高速、高精度での微小流量制御が可能なピエゾアクチュエータを気化室直近に搭載。デッドボリュームの少ない構造。

TEOS:7g/min、H2O:0.5g/minの小型気化器。キャリアガス(最大流量14SLM)と流量制御された液体を混合させて気化室に導入する事で安定的な供給が可能。

小型気化器
VU-206

特長

使用例

真空・大気条件での小流量気化

小型なボディーで連続的な微小流量でも精密な流量気化供給を実現。二次側圧力条件に関わらず、安定的な小流量気化を実現。

TEOS,TEB,TEPO 気化供給

複数液連続気化

半導体製造工程で多く使用されるTEOSだけでなく、TEBやTEPOなど様々な液体供給が可能。また、気化器を直列で同時に複数液の気化供給が可能。

仕様表

最高温度キャリアガス流量最大H2O気化流量最大TEOS気化流量シール
160℃0.1~14SLM0.5g/min7g/minAu

※気化器の詳細仕様はお問合せ下さい。

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