メタルフリーの高効率石英気化器QV-1000。

接液部の構造材料に石英ガラスを採用したメタルフリー(金属不使用)気化器。金属汚染(メタルコンタミネーション)の懸念を排除した気化が可能な気化器。

二流体ノズルとギャップ構造により、最大H2O換算15g/minの高効率の安定気化が実現。

石英気化
QV-1000

特長

使用例

超純水などメタルコンタミ可能性がある液体の気化

H2Oを金属接液部分を通過すると金属汚染が懸念されます。そこで接液部分の構造部を石英にする事でメタルフリーの石英気化器ならメタルコンタミ(金属汚染)フリーの気化供給が可能です。

仕様表

最高温度耐圧キャリアガス流量最大H2O気化量
200℃200kPa(A)10SLM15g/min

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