バブリングによるプリカーサ発生流量を自動制御するベーパコントローラ。

特徴

バブリングタンクのプリカーサ原料の気化量を設定する事で、キャリアガス流量を自動調節。温度や二次圧力、液面位置に関係なく気化量を自動制御するベーパコントローラ。

SiCl4、POCl3、BBr3、GeCl4、SiCl2、SiCl4などのプリカーサの発生量をバブリングで安定制御可能。

アプリケーション

Epi装置のベーパーコントローラ置換

ベーパーコントローラによるバブリング方式の気化供給量コントロールは現在でも多くのEpi装置に搭載されています。しかし、多くのベーパーコントローラ製造メーカは生産を終了しています。LVC-414は置換実績も多く、既存のEpi装置のメンテナンス部品として提案可能です。

仕様表

精度流量制御範囲キャリアガス流量範囲液体流量制御範囲
±4%F.S.5～100%F.S.50～10,000SCCM12～40,000㎎