バブリングによるプリカーサ発生流量を自動制御するベーパコントローラ。
特徴
バブリングタンクのプリカーサ原料の気化量を設定する事で、キャリアガス流量を自動調節。温度や二次圧力、液面位置に関係なく気化量を自動制御するベーパコントローラ。
SiCl4、POCl3、BBr3、GeCl4、SiCl2、SiCl4などのプリカーサの発生量をバブリングで安定制御可能。

アプリケーション
Epi装置のベーパーコントローラ置換
ベーパーコントローラによるバブリング方式の気化供給量コントロールは現在でも多くのEpi装置に搭載されています。しかし、多くのベーパーコントローラ製造メーカは生産を終了しています。LVC-414は置換実績も多く、既存のEpi装置のメンテナンス部品として提案可能です。
仕様表
精度 | 流量制御範囲 | キャリアガス流量範囲 | 液体流量制御範囲 |
±4%F.S. | 5~100%F.S. | 50~10,000SCCM | 12~40,000㎎ |