最大流量N2、300SLMの大流熱交換器。

特徴

HX-0300C
  • 最大流量300SLM
  • 最高使用温度250℃

使用例

半導体製造工程での乾燥ドライヤー

HX-0300Cは300SLMまで大流量の加熱が可能です。大流量の加熱ガスで乾燥する事によりスループット向上に繋がります。また、ヒータ部分が接ガスに露出していない構造の為、クリーンな環境が必要とされる半導体製造やFPD製造工程での使用に最適です。

仕様表

 流量(N2換算)圧力損失(N2)耐圧(G)使用温度接ガス部材質
仕様300SLM30kPa1MPa250℃SUS316L

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