2021年2月24日 / 最終更新日 : 2021年3月3日 ad1032vo6l マスフローコントローラ マスフローコントローラと半導体 パソコンや携帯電話など電気製品の中にはトランジスタ、抵抗、ICなどといった電子部品が詰まっています。これらを「電子部品」または「半導体部品」と呼び、半導体部品で一番生産されているのがICです。IC（integrated […]
2021年2月2日 / 最終更新日 : 2021年2月10日 ad1032vo6l マスフローコントローラ マスフローコントローラ選定 マスフローコントローラの選定には、ガス種、最大流量、圧力条件、制御温度、継手面間の情報が必要です。 ガス種 マスフローコントローラはガス流量を測定、制御する機器です。ガス流量の測定にはガス固有の比熱（コンバージョンファク […]
2021年1月19日 / 最終更新日 : 2021年2月1日 ad1032vo6l マスフローコントローラ 水蒸気（H2O）マスフローコントローラ流量制御 水蒸気の流量制御用途 水蒸気の流量制御は半導体のCVDの酸化工程や洗浄、アッシング工程で必要とされていますが、燃料電池の評価や環境試験機、一般工業でも焼成炉の雰囲気作りや過加熱蒸気など幅広い用途で水蒸気流量制御のニーズが […]
2020年10月21日 / 最終更新日 : 2021年2月1日 ad1032vo6l マスフローコントローラ ガスMFC/MFMトラブルシューティング リンテックのガスマスフローコントローラ（以下MFC）又はマスフローメータでトラブルが起こった場合、修理依頼を出される前に一度下記内容に従い、チェックしてみてください。また、修理依頼を出される際には、製品返送時のお願いを確 […]
2020年9月24日 / 最終更新日 : 2021年1月19日 ad1032vo6l マスフローコントローラ 電源表示設定器(RP-310)の使い方③ ③では②で設定した最大流量の他、細かい説明をしていきます。 流量設定値の変更 図のダイヤルはRPの使い方②で設定した範囲から0までを細かく設定できます。（例：RPの使い方②で最大流量を「100.0」と設定した場合、100 […]
2020年9月23日 / 最終更新日 : 2020年9月28日 ad1032vo6l マスフローコントローラ 電源表示設定器（RP-310）の使い方② ①では接続方法について紹介しました。②では流量表示の設定方法について紹介していきます。 流量表示設定方法 「MODEボタン」と「▶ボタン」を同時に2秒以上長押ししてください。 2秒以上長押しすると赤線で囲まれた値に「1」 […]
2020年9月9日 / 最終更新日 : 2020年9月24日 ad1032vo6l マスフローコントローラ 電源表示設定器(RP-310)の使い方① マスフローコントローラをアナログで動作させるには電源表示設定器(RP-310)が必要となります。電源表示設定器は電源とマスフローコントローラの流量設定、実際にマスフローコントローラで計測・制御している流量表示が1つの機器 […]
2020年7月30日 / 最終更新日 : 2021年1月19日 ad1032vo6l マスフローコントローラ DLCとマスフローコントローラ ダイヤモンドライクカーボン(DLC)とは ダイヤモンドライクカーボン（Diamondo Like Carbon)は、英語の頭文字をとってDLCと略されます。カーボンは炭素で、ダイヤモンドのような炭素という意味になります。 […]
2020年7月27日 / 最終更新日 : 2021年2月15日 ad1032vo6l マスフローコントローラ O3(オゾン)用マスフローコントローラ O3(オゾン)とは？ O3（オゾン）は酸素原子が3つ結びついた分子です。地球の表面を覆っているオゾン層もこのO3の集まりです。 O3は酸素分子と酸素原子に分解しやすい不安定な物質です。常温状態でも長時間維持することができ […]
2020年7月20日 / 最終更新日 : 2020年8月3日 ad1032vo6l マスフローコントローラ マスフローコントローラについて マスフローコントローラとは マスフローコントローラ(Mass Flow Controller)はアメリカで発明され、カタカナあるいは英語での表記ですが、直訳すると質量流量制御器です。文字通り気体や液体といった流体の質量に […]
