マルチガスミキサ

 

 

FL Series1000x1000

FL Series

FLシリーズは、マスフローコントローラを使用し、複数ガスを指定濃度、流量にして安定供給する装置です。

  • 必要な時に必要なだけの混合ガスを供給。
  • 供給量が変化しても一定濃度の混合ガスを自動供給。
  • ガス種類や供給量、使用環境により様々な仕様に対応可能。
  • メンテナンスを考えたクリーンな構造。
  • 安全面を考慮した各種アラーム設定機能搭載。
  • 気体の物性を考慮した設計により、安定的な供給が可能。
  • 詳細仕様:カタログのダウンロードはこちら