ベーキングユニット

 

SVC Series1000x1000

SVC Series

SVCシリーズは、内蔵タンクで気化させたガスをマスフローマスフローコントローラを使用し、複数ガスを指定濃度、流量にして安定供給する装置です。

  • 供給ライン全体の温度を最適化することで、液化を防止し、気化ガスを安定供給。
  • 各種ユーティリティに接続するだけで手軽にベーキング供給が可能なオールインワン設計。
  • 液体物性や供給量、使用環境により様々な仕様に対応可能 。
  • メンテナンスを考えたクリーンな構造。
  • 安全面を考慮した各種アラーム設定機能搭載。
  • 液体の物性を考慮した設計により、安定的な供給が可能。
  • 詳細仕様:カタログのダウンロードはこちら