軽接触式気化器

 

VU-900 Series-1000x1000

VU-900 Series

VU-900シリーズは、液体が気化室に接触する機会をすくなくすることで、熱変質を起こすことなく安定気化供給することが可能な気化器です。

  • 当社のLM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。
  • ソレノイドアクチュエータを搭載により、精密制御された液体を気化供給。
  • 熱に対して不安定なLow-K、High-K、各種メタルなどの気化供給に最適。
  • 最大気化流量:H2O 10 g/min~30g/min
  • 詳細仕様:カタログのダウンロードはこちら