ソレノイドアクチュエータ搭載気化器

 

VU-450 Series-1000x1000

VU-450 Series

MC-450シリーズは、ソレノイドアクチュエータを搭載した気化器です。

  • VU-430Aシリーズに比べ、気化容積が大きく、Low-K、High-K、各種メタルなど、低蒸気圧、大流量の気化供給に最適。
  • 最大気化流量:TEOS 20 g/min ・H2O 5 g/min
  • キャリアガス流量:0.8~130SLM
  • 詳細仕様:カタログのダウンロードはこちら