ソレノイドアクチュエータ搭載小型気化器

 

 

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VU-430N Series

VU-430Nシリーズは、ソレノイドアクチュエータを搭載した小型気化器。

  • 当社のLM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能。
  • MAX200℃のコンパクト設計により、Low-k, High-k、各種メタルなど、低蒸気圧、小流量の気化供給に最適。
  • ダブルオリフィスノズルにより噴霧された液体は、気化室で輻射熱により効率よく気化。
  • 最大気化流量:TEOS 10 g/min ・H2O 1 g/min
  • キャリアガス流量:0.05~4SLM
  • 詳細仕様:カタログのダウンロードはこちら