ピエゾアクチュエータ搭載気化器

 

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VU-206 Series

VU-206シリーズは、ピエゾアクチュエータを搭載した気化器です。

  • 当社のLM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能。
  • ピエゾアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給。
  • MAX160℃のコンパクト設計。
  • 最大気化流量:TEOS 7g/min ・H2O 0.5 g/min
  • キャリアガス流量:0.1~14SLM
  • 詳細仕様:カタログのダウンロードはこちら