LM-3000L Series

LM-3000Lシリーズは、液体用マスフローセンサを搭載した高性能デジタル液体マスフローメータです。当社液体気化器VUシリーズと併用することにより精密に液体を気化供給することができます。

• コントロールバルブＣＶ－１０００シリーズと組合せることで液体マスフローコントローラとして動作が可能です。
• デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備。
• 流量範囲（Ｃ₂H₅OＨ換算）：0.１~20.0g/min（H₂O換算）：0.１~5.0g/min
• 詳細仕様：カタログのダウンロードはこちら