低差圧マスフローコントローラ

MC-3000S Series
MC-3000S-1000x1000

MC-3000Sシリーズは、独自に開発した低圧損構造により、微差圧制御に対応したマスフロコントローラです。

  • 独自の低圧損構造により、6Torrの低差圧で10SCCM(N2)を制御可能。
  • AsH3やPH3などのインプラ用途はもちろん、XeF2やH2Oなどの固体、液体原料を加温なしで制御可能。
  • デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備。
  • 流量範囲(N2換算):2~30 SCCM
  • 詳細仕様:カタログのダウンロードはこちら