MC-3000Sシリーズは、独自に開発した低圧損構造により、微差圧制御に対応したマスフロコントローラです。

• 独自の低圧損構造により、6Torrの低差圧で10SCCM(N2)を制御可能。
• AsH3やPH3などのインプラ用途はもちろん、XeF2やH2Oなどの固体、液体原料を加温なしで制御可能。
• デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備。
• 流量範囲（N₂換算）：2~30 SCCM
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