アナログマスフローコントローラ

MC-1000L-1000x1000-1

MC-1000L Series

MC-1000Lシリーズは、ラバーシールを採用し、低価格を実現したマスフロコントローラです。

  • ラバーシールを採用することで低価格を実現。
  • 高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用。
  • 金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作。
  • 流量範囲(N2換算):10~50,000 SCCM
  • 詳細仕様:カタログのダウンロードはこちら